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李忠信
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
大连理工大学
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
康仁科
大连理工大学
李伟健
大连理工大学
金洙吉
大连理工大学
郭东明
大连理工大学
杨利军
大连理工大学
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张士军
供职机构:大连理工大学
研究主题:硅片传输机器人 运动学分析 PMAC 径向 机器人控制器
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李伟健
供职机构:大连理工大学
研究主题:监控系统 磨削力 真空度 大功率 传热性能
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杨利军
供职机构:大连理工大学
研究主题:多孔陶瓷 真空吸盘 真空 密封环 吸盘
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所获资助
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康仁科
供职机构:大连理工大学
研究主题:超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
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金洙吉
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
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郭东明
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 杯形砂轮
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