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张宸
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3
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
贾少霞
中国科学院微电子研究所
王守国
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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