2024年11月30日
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吴小峰
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
清华大学深圳研究生院制造技术与系统研究所
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发文基金:
国家科技支撑计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
邹松青
清华大学深圳研究生院制造技术与...
刘学平
清华大学深圳研究生院制造技术与...
段广洪
清华大学深圳研究生院制造技术与...
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邹松青
供职机构:清华大学深圳研究生院制造技术与系统研究所
研究主题:系统设计 视觉定位 LED 基于PCI总线 运动控制
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供职机构
所获资助
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刘学平
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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