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陈智颖

作品数：5 被引量：16H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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柳襄怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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赵建平
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：性能研究 FAD 非晶金刚石薄膜 非晶 金刚石薄膜
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王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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施天生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：超导体 YBA 性能研究 FAD 金刚石薄膜
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杨石奇
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：性能研究 FAD 非晶金刚石薄膜 金刚石薄膜 非晶
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王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
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俞跃辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周祖尧
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 硅 离子束 离子束增强沉积 P
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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