您的位置： 专家智库 > >

赵玲莉

作品数：9 被引量：29H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技部专项基金国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 23个电子电信
  • 14个理学
  • 12个一般工业技术
  • 9个机械工程
  • 8个化学工程
  • 8个电气工程
  • 8个核科学技术
  • 7个自动化与计算...
  • 6个金属学及工艺
  • 4个生物学
  • 4个医药卫生
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 3个交通运输工程
  • 2个建筑科学
  • 2个水利工程
  • 2个环境科学与工...
  • 1个天文地球
  • 1个农业科学
  • 1个历史地理

主题

  • 17个氮化硅
  • 17个光刻
  • 17个X射线光刻
  • 16个氮化
  • 16个光刻技术
  • 15个氮化硅薄膜
  • 15个掩模
  • 15个激光
  • 15个硅薄膜
  • 13个射线
  • 12个电路
  • 12个集成电路
  • 11个碳化硅
  • 10个室温
  • 10个光发射
  • 9个亚微米
  • 9个深亚微米
  • 9个退火
  • 9个可见光发射
  • 9个激光激发

机构

  • 14个中国科学院
  • 13个中国科学院微...
  • 10个中国科学技术...
  • 4个中国科学院研...
  • 4个中国科学院微...
  • 2个清华大学
  • 2个天津大学
  • 2个信息产业部
  • 1个北京大学
  • 1个兰州大学
  • 1个浙江大学
  • 1个首都师范大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中北大学
  • 1个中华人民共和...
  • 1个杭州中科微电...
  • 1个中国科学院大...
  • 1个华进半导体封...
  • 1个江苏物联网研...

资助

  • 14个国家自然科学...
  • 10个国家重点基础...
  • 8个中国科学院知...
  • 7个国家高技术研...
  • 5个“九五”国家...
  • 4个国家科技攻关...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个国家科技部专...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个中国科学院院...
  • 2个中国博士后科...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个吉林省科技攻...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个山西省自然科...
  • 1个浙江省科技攻...
  • 1个浙江省重大科...
  • 1个国家杰出青年...

传媒

  • 19个Journa...
  • 11个半导体技术
  • 11个第十一届全国...
  • 10个科学通报
  • 10个发光学报
  • 10个功能材料与器...
  • 9个微细加工技术
  • 8个核技术
  • 8个第十二届全国...
  • 8个第十二届全国...
  • 6个物理学报
  • 6个真空科学与技...
  • 6个北京同步辐射...
  • 6个微纳电子技术
  • 6个2001年纳...
  • 5个半导体情报
  • 5个电子工业专用...
  • 4个光学学报
  • 4个固体电子学研...
  • 4个第十一届全国...

地区

  • 19个北京市
  • 1个安徽省
  • 1个陕西省
  • 1个河北省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥兴才
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 LPCVD 掩模 氮化硅 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙宝银
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 LPCVD X射线光刻 氮化硅 可见光发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石万全
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：硅 离子注入 氮化硅 LPCVD 氮化硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈梦真
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘渝珍
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：光致发光 快速退火 LPCVD RTA 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩敬东
供职机构：中国科学院
研究主题：X射线光刻 LPCVD 氮化硅 掩模 氮化硅膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0