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苏毅

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
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合作作者

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王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵新安
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微齿轮 齿轮 多晶硅 硅片 物理过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张熙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 物理过程 齿轮 微机械加工 微齿轮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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