您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 5个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 3个氮化
  • 3个电极
  • 3个电路
  • 3个电阻
  • 3个淀积
  • 3个验用
  • 2个氮化铝
  • 2个导体
  • 2个等离子体
  • 2个等效氧化层厚...
  • 2个低能离子
  • 2个低压化学气相...
  • 2个电池
  • 2个电路工艺
  • 2个电偶
  • 2个电压
  • 2个电子器件
  • 2个电子迁移率
  • 2个电子束
  • 2个电子束光刻

机构

  • 5个中国科学院微...
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个国家攀登计划
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 4个Journa...
  • 4个第十二届全国...
  • 3个半导体技术
  • 3个第十二届全国...
  • 2个电子技术(上...
  • 2个电子器件
  • 2个功能材料与器...
  • 2个固体电子学研...
  • 2个微电子学
  • 2个微纳电子技术
  • 2个第二届全国电...
  • 2个第二届全国纳...
  • 2个第十一届全国...
  • 1个物理学报
  • 1个电子学报
  • 1个物理
  • 1个光子学报
  • 1个微电子学与计...
  • 1个稀有金属
  • 1个电子显微学报

地区

  • 5个北京市
5 条 记 录,以下是 1-5
欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
申作成
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:KINK效应 化学机械平坦化 微电子 变频器 功率模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:变频器 功率模块 接口电路 微处理器 智能功率模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0