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杨良民

作品数：9 被引量：10H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

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机构

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资助

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传媒

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  • 2个仪器仪表学报
  • 2个中国机械工程

地区

  • 13个上海市
  • 1个浙江省
共 14 条 记 录，以下是 1-10
路敦武
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈蓓军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜龙龙
供职机构：湖州职业技术学院
研究主题：敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋宝财
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：脉冲氙灯 氙灯 石英玻璃管 辐射光谱 氙气
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王润文
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁才来
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：脉冲氙灯 准分子激光 灯头 激光 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰燕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射效应 光刻分辨率 光刻 胶层 折射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘增水
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光强分布 ICF 性能分析 机械加工工艺 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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