2024年11月27日
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李铭
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曾绍海
上海集成电路研发中心
左青云
上海集成电路研发中心
康晓旭
上海集成电路研发中心
赵宇航
上海集成电路研发中心
陈寿面
上海集成电路研发中心
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曾绍海
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
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左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
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康晓旭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
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赵宇航
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图像传感器 像元 光敏元件 CMOS影像传感器 CMOS图像传感器
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陈寿面
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:晶体管 光刻 像元 电极 图像
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袁伟
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:光刻 光刻机 光刻工艺 光刻版 硅片
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周炜捷
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
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钟旻
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:存储器单元 沟道 相变材料 相变 底电极
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易春艳
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图形化 晶体管 鱼鳍 掩膜 光刻
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黄仁东
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
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