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张宇星
作品数:
9
被引量:18
H指数:3
供职机构:
东南大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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合作作者
黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
李伟华
东南大学电子科学与工程学院微电...
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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