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郭新贺
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
景玉鹏
中国科学院微电子研究所
王磊
中国科学院微电子研究所
郭晓龙
中国科学院微电子研究所
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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王磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
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郭晓龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:真空设备 微波 干燥装置 硅片 微细结构
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