2024年11月23日
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林友玲
作品数:
10
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
周晓峰
中国科学院研究生院
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
李玉芳
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
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供职机构
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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黎晓林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:加速度计 三明治 高Q值 MEMS加速度传感器 Σ-Δ调制
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李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
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蔡梅妮
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:三明治 MEMS加速度传感器 加速度传感器 划片 品质因数
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李玉芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电容式加速度传感器 检波电路 硅 键合 太阳电池阵列
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毛健
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:加速度传感器 电容式加速度传感器 电容间隙
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苏荣涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度传感器 焊盘 寄生电容 寄生 微加速度传感器
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