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张虹霞

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：大连理工大学机械工程学院微系统研究中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个一般工业技术
  • 5个理学
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主题

  • 5个等离子
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机构

  • 5个大连理工大学
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  • 1个教育部
  • 1个中国科学院
  • 1个沈阳工业大学
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  • 1个三束材料改性...
  • 1个沈阳仪表科学...

资助

  • 5个国家自然科学...
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  • 3个传感技术联合...
  • 3个辽宁省自然科...
  • 2个辽宁省教育厅...
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  • 2个辽宁省教育厅...
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  • 1个国家留学基金
  • 1个国家重点基础...
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  • 1个中国博士后科...
  • 1个中央级公益性...
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传媒

  • 5个功能材料
  • 4个材料保护
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  • 4个大连理工大学...
  • 3个物理学报
  • 3个材料导报
  • 3个材料研究学报
  • 3个真空科学与技...
  • 2个光学精密工程
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  • 2个2004年中...
  • 2个2006北京...

地区

  • 4个辽宁省
  • 1个湖南省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
唐祯安
供职机构：大连理工大学
研究主题：微热板 气体传感器 气体传感器阵列 MEMS 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓新绿
供职机构：大连理工大学
研究主题：磁控溅射 类金刚石膜 类金刚石薄膜 等离子体诊断 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新
供职机构：沈阳工业大学
研究主题：压力传感器 集成化 压力敏感芯片 微全分析系统 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐军
供职机构：教育部
研究主题：磁控溅射 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 类金刚石薄膜 类金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨梅
供职机构：大连理工大学机械工程学院微系统研究中心
研究主题：DLC膜 非平衡磁控溅射 类金刚石膜 电子回旋共振 等离子体源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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