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华一磊

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 14个机械工程
  • 14个理学
  • 13个自动化与计算...
  • 12个电子电信
  • 8个一般工业技术
  • 8个文化科学
  • 7个核科学技术
  • 6个医药卫生
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  • 3个化学工程
  • 3个建筑科学
  • 3个环境科学与工...
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个交通运输工程
  • 2个农业科学
  • 1个生物学
  • 1个矿业工程

主题

  • 14个衍射
  • 14个衍射效率
  • 13个单级
  • 11个等离子体
  • 9个电子束光刻
  • 8个电磁
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  • 7个单色器
  • 7个等离子体共振
  • 7个电子束
  • 6个氮化
  • 6个等离子体增强
  • 6个等腰
  • 6个等腰梯形
  • 6个电磁波
  • 6个电镀
  • 6个电极
  • 6个电子束抗蚀剂
  • 5个带隙
  • 5个氮化硼

机构

  • 8个中国工程物理...
  • 7个中国科学院微...
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  • 2个四川大学
  • 2个中南大学
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个电子科技大学
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  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个四川联合大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国科学院
  • 1个湖南科技大学
  • 1个西南科技大学
  • 1个湘潭师范学院
  • 1个重庆大学

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 12个国家重点基础...
  • 9个国家科技重大...
  • 8个国家重大科学...
  • 7个国家高技术研...
  • 3个应用光学国家...
  • 3个中国工程物理...
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  • 2个吉林省科技攻...
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  • 2个中国工程物理...
  • 2个中国工程物理...
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传媒

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  • 10个光学学报
  • 9个强激光与粒子...
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  • 7个激光与光电子...
  • 6个微纳电子技术
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  • 3个光电子．激光
  • 3个半导体技术
  • 3个物理
  • 3个光子学报
  • 3个电子器件
  • 3个压电与声光

地区

  • 7个北京市
  • 6个四川省
  • 1个湖南省
共 14 条 记 录，以下是 1-10
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冬梅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高南
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王心怡
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 单级 成像方法 衍射效率 超分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭倩
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 单级 成像方法 衍射效率 超分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张强强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 单级 软X射线 光栅 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏来
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 软X射线 单级 衍射光栅 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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