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严佩英
作品数:
12
被引量:40
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
余国彬
中国科学院光电技术研究所
胡松
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院光电技术研究所
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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供职机构
所获资助
研究领域
余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
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供职机构
所获资助
研究领域
罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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张晓玉
供职机构:兰州大学
研究主题:光子晶体 二维光子晶体 反应离子刻蚀 空气柱 微细加工技术
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高洪涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:医疗美容 杂光 人体皮肤 原子束 皮肤
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姜文汉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:自适应光学 自适应光学系统 波前传感器 大气湍流 变形镜
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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所获资助
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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