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高南

作品数:13 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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16 条 记 录,以下是 1-10
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
辛将
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:能量守恒定律 衍射光学元件 大高宽比 方孔 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翁永超
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衍射光栅 医学仪器 波带片 衍射元件 衍射效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 薄膜晶体管 介质层 接触电阻 电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 介质层 晶体管 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
华一磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单级 衍射光栅 衬底 掩模板 高温环境
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢长青
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:位相 透明介质 菲涅耳 波带片 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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