2024年12月4日
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郭强生
作品数:
11
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H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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合作作者
柳滨
中国电子科技集团公司第四十五研...
廉军
中华人民共和国工业和信息化部
沈宏良
中华人民共和国工业和信息化部
周庆亚
中国电子科技集团公司第四十五研...
靳卫国
中国电子科技集团公司第四十五研...
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沈宏良
供职机构:中华人民共和国工业和信息化部
研究主题:电镀生产线 电镀 SWI SW 工位
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所获资助
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廉军
供职机构:中华人民共和国工业和信息化部
研究主题:电镀生产线 电镀 片式钽电容器 封装设备 微电子
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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张续业
供职机构:中华人民共和国工业和信息化部
研究主题:SWI 工位 电化学 电镀生产线 电镀
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李伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 CMP设备 抛光
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徐存良
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 CMP设备 RCA 湿法清洗
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靳卫国
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:粘片机 PZT陶瓷 激光加工 集成电路 视觉检测
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王伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 IC 300MM硅片 SOLIDWORKS
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张继业
供职机构:中华人民共和国工业和信息化部
研究主题:SW 集成电路 金属表面处理 电镀生产线 电镀
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周庆亚
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:集成电路 视觉检测 粘片机 碳化硅 LED
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