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邢廷文

作品数：251 被引量：420H指数：12
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
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廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志远
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓超
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾辛
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 空间滤波器 移相 波片 绝对测量
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张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
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朱红伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐富超
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许嘉俊
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：空间滤波器 小孔 波片 衍射 面形
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