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冯泉林

作品数:23 被引量:7H指数:2
供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺机械工程更多>>

领域

  • 19个电子电信
  • 8个金属学及工艺
  • 6个机械工程
  • 6个理学
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  • 2个动力工程及工...
  • 2个电气工程
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  • 1个医药卫生
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主题

  • 17个退火
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  • 15个硅片
  • 13个硅单晶
  • 13个SI
  • 12个高温退火
  • 11个单晶硅
  • 10个
  • 9个直拉硅
  • 9个直拉硅单晶
  • 8个氧沉淀
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  • 8个抛光
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  • 7个大直径
  • 7个内吸杂
  • 6个电路
  • 6个多晶
  • 6个原子力显微镜
  • 5个多晶硅

机构

  • 19个北京有色金属...
  • 3个有色金属研究...
  • 2个清华大学
  • 1个西北农林科技...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个北京恒源天桥...
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资助

  • 14个国家科技重大...
  • 10个国家高技术研...
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  • 4个国际科技合作...
  • 2个国家重点基础...
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  • 2个河北省教育厅...
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传媒

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  • 12个半导体技术
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  • 4个中国有色金属...
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  • 3个中国稀土学报
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  • 3个中国有色金属...
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  • 2个中国有色金属...
  • 2个TFC’09...

地区

  • 18个北京市
  • 1个陕西省
19 条 记 录,以下是 1-10
周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宗峰
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氩 高温退火 高温 退火 CZ硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构:西北农林科技大学
研究主题:铅合金 电积锌 脉冲激光烧蚀 性能研究 SNO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵而敬
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:CO 300MM硅片 氩 SI 高温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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