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冯泉林
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北京有色金属研究总院
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合作作者
周旗钢
有研半导体材料股份有限公司北京...
闫志瑞
北京有色金属研究总院
李宗峰
北京有色金属研究总院
常青
北京有色金属研究总院
何自强
北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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李宗峰
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氩 高温退火 高温 退火 CZ硅单晶
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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供职机构:清华大学
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何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
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肖清华
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研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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赵而敬
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:CO 300MM硅片 氩 SI 高温退火
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