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何永勇

作品数：257 被引量：876H指数：16
供职机构：清华大学更多>>
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地区

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路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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褚福磊
供职机构：清华大学
研究主题：故障诊断 滚动轴承 转子系统 旋转机械 冲击响应
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沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
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王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
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梅赫赓
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
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赵军
供职机构：清华大学
研究主题：核电厂 高温气冷堆 设备分级 概率安全分析 核电站
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许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
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