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马元远
作品数:
5
被引量:35
H指数:3
供职机构:
浙江大学信息与电子工程学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
化学工程
电气工程
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合作作者
王德苗
浙江大学信息与电子工程学系
金浩
浙江大学信息与电子工程学系
任高潮
浙江大学信息与电子工程学系
董树荣
浙江大学信息与电子工程学系
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王德苗
供职机构:浙江大学
研究主题:磁控溅射 溅射 金属化 靶材 压电薄膜
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金浩
供职机构:浙江大学
研究主题:溅射 声表面波 声表面波传感器 无线无源 磁控溅射
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供职机构
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董树荣
供职机构:浙江大学
研究主题:触发 可控硅 静电放电 可控硅器件 静电防护
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
任高潮
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:溅射 磁控溅射 靶材 靶面 充气器
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相关人物
供职机构
所获资助
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