2024年12月11日
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韩焕鹏
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63
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H指数:4
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中国电子科技集团公司
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
张伟才
中国电子科技集团公司
杨静
中国电子科技集团公司
赵权
中国电子科技集团公司
刘锋
中国电子科技集团公司第四十六研...
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶片 晶片 硅片
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:晶片 锗 单晶片 削片 损伤层
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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刘锋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅单晶 直拉法 SI 锗 单晶生长
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学腐蚀 MEMS 研磨 测厚 硅
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莫宇
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅单晶 粗糙度 硅片 清洗液 超声波清洗
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庞炳远
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 硅单晶生长 硅
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李丹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:汽油机 滚流 硅单晶 进气道 缸内
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