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王文涛
作品数:
2
被引量:12
H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
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合作作者
耿增建
西安微电子技术研究所
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耿增建
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:硅微加速度计 噪声 加速度计 差动电容 硅
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