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柴雄良
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12
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
程兆谷
中国科学院上海光学精密机械研究...
高海军
中国科学院上海光学精密机械研究...
赵全忠
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘翠青
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
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程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
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赵全忠
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:飞秒激光 超短脉冲激光 激光 激光加工 超快激光
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高海军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:硅片 双频激光干涉仪 分光镜 平面反射镜 双频激光器
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刘翠青
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 电极结构 预电离 脉冲 自适应控制
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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蒋金波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:铝合金 CO_2激光 激光束 LY12铝合金 LF21
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黄英奇
供职机构:泉州师范学院物理与信息工程学院物理系
研究主题:物理教学 新课程理念 课程理念 课程改革 课程标准
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谌巍
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 测量系统 掩模 工件台 控制系统
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李锋
供职机构:思源电气股份有限公司
研究主题:光纤 光电池 电力系统 磁控电抗器 光电混合式
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李现勤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:铝合金 脉冲 CO_2激光 二氧化碳激光器 放电区
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