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杨景华
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43
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H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
王守国
中国科学院微电子研究所
贾少霞
中国科学院微电子研究所
赵玲利
中国科学院微电子研究所
蔡建
中国科学院微电子研究所
张朝前
中国科学院微电子研究所
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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蔡建
供职机构:中国科学院微电子研究所
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张朝前
供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压等离子体 常压 移动机械手 放电区 放电等离子体
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张宸
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:放电装置 放电效率 等离子体 工作气体 阻挡层
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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