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宋源
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
卢启鹏
中国科学院长春光学精密机械与物...
龚学鹏
中国科学院长春光学精密机械与物...
彭忠琦
中国科学院长春光学精密机械与物...
王依
中国科学院长春光学精密机械与物...
马磊
中国科学院长春光学精密机械与物...
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卢启鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:近红外光谱 近红外 光学元件 超高真空 单色器
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龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
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彭忠琦
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 超高真空 近红外 单色器 EUV
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王依
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 EUV 反射镜 清洗方法 超高真空
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马磊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:单色器 平面光栅 误差分析 转角精度 棱镜
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喻波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 MO/SI多层膜 EUV
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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王动民
供职机构:河南工业大学
研究主题:近红外光谱 毛油 中红外光谱 偏最小二乘回归 吸附脱色
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薛松
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:上海光源 光束线 压弯 单色器 真空系统
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陈家华
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:压弯 摇臂 镜子 蜗轮 双驱动
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