2024年11月27日
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卢继奎
作品数:
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
谷德君
沈阳芯源微电子设备有限公司
尹宁
沈阳芯源微电子设备有限公司
王丽鹤
沈阳芯源微电子设备有限公司
郝永平
沈阳理工大学
许伟
沈阳矿山机械集团有限公司
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谷德君
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
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尹宁
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体行业 晶圆 晶片 风流 污染
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王丽鹤
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶圆 密封 顶针 废液 均布
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郝永平
供职机构:沈阳理工大学机械工程学院
研究主题:MEMS 引信 弹道修正 仿真 微装配
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许伟
供职机构:沈阳矿山机械(集团)有限公司
研究主题:WARE 压电效应 压电式 优化设计
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郑春海
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
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杨芳
供职机构:沈阳理工大学
研究主题:MEMS 弹道修正 惯性导航 仿真 增阻
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王阳
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:涂胶 光刻胶 半导体生产 晶圆 喷嘴
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魏猛
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
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