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任臣
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31
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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电子电信
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
徐淑静
中国电子科技集团第十三研究所
徐磊
中国电子科技集团第十三研究所
卢新艳
中国电子科技集团第十三研究所
杨亮
中国电子科技集团第十三研究所
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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徐淑静
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
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卢新艳
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS陀螺仪 测试系统 惯性器件 陀螺仪 微电子机械系统
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徐磊
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS陀螺 移位寄存器 精调 相位调节 线性度
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郑锋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 电容式加速度计 译码器 测试系统 惯性器件
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杨亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:滤波器 滤波器技术 薄膜体声波谐振器 滤波器组件 输出端子
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许鹏
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 译码器 测试系统 MEMS陀螺仪 扁平封装
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李博
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS陀螺仪 MEMS MEMS器件 角速度
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何洪涛
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
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刘德盟
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:阵列电极 微阵列 微系统 植入式 金
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