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钟佩思

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：山东大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 1个电子电信

主题

  • 1个电子束
  • 1个电子束光刻
  • 1个电子束曝光
  • 1个电子束曝光机
  • 1个动态特性
  • 1个有限元
  • 1个有限元分析
  • 1个曝光机
  • 1个静态特性
  • 1个工作台
  • 1个光刻

机构

  • 1个山东大学
  • 1个山东工业大学

传媒

  • 1个电工电能新技...
  • 1个微细加工技术

地区

  • 1个山东省
共 1 条 记 录，以下是 1-1
周振华
供职机构：山东大学
研究主题：电子束曝光机 电子束 工作台 静态特性 动态特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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