2024年11月26日
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薛兵
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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合作作者
陈涛
中国电子科技集团公司第四十六研...
李明达
中国电子科技集团公司第四十六研...
王文林
中国电子科技集团公司第四十六研...
李普生
中国电子科技集团公司第四十六研...
高航
中国电子科技集团公司第四十六研...
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陈涛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅外延片 均匀性 电阻率 过渡区 势垒电容
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所获资助
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李明达
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:均匀性 硅外延 硅外延片 硅外延层 过渡区
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王文林
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅外延片 压电陶瓷材料 压电陶瓷 过渡区 吹扫
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李普生
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:均匀性 硅外延层 硅外延 化学气相沉积 外延片
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李杨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅外延片 PIN光电探测器 外延片 吹扫 P型
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高航
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅外延片 硅外延 吹扫 P型 变流量
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殷海丰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:电阻率 自掺杂 硅外延材料 HVPE ALN
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徐永宽
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氮化镓 氢化物气相外延 DAST
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李扬
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:VDMOS器件 VDMOS 过渡区 硅外延片 外延层
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