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李璟

作品数:32 被引量:69H指数:5
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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相关领域:机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

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29 条 记 录,以下是 1-10
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
师中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镜面 光源 光纤 调整架 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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