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10 条 记 录,以下是 1-10
齐虹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张岩
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿法腐蚀 KOH TMAH 薄膜电阻 流量传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
寇文兵
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 集成化 单晶硅 传感器设计 压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘智辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁文波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:TOC 吸收式 总有机碳 加速度传感器 结构参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王明伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 衬底材料 衬底 MEMS加速度传感器 封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海博
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹延昭
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田雷
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:温度 SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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