2024年11月29日
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康洪亮
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14
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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合作作者
张伟才
中国电子科技集团公司
陈建跃
中国电子科技集团公司
张伟才
中国电子科技集团公司第四十六研...
佟丽英
中国电子科技集团公司第四十六研...
赵权
中国电子科技集团公司
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陈建跃
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅片 厚层 硅单晶片 滑移线 砂轮
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张伟才
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研究主题:硅单晶 锗 单晶片 晶片 硅片
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 锗 锗单晶 晶片 抛光片
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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于妍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:粗糙度 化学腐蚀 碱性腐蚀 单晶片 硅单晶
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
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陆峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:表面活性剂 锗 P型 硅片 金属
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张贺强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅片 单晶硅 晶向 线锯 翘曲度
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高丹
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:抛光片 腐蚀坑 硅单晶 画格 金相显微镜
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