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常亮
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2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
李建军
东北大学机械工程与自动化学院
黄英
东北大学机械工程与自动化学院
张以忱
东北大学机械工程与自动化学院
韩晶雪
东北大学机械工程与自动化学院
张国庆
东北大学机械工程与自动化学院
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李建军
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:真空冶金 直流磁控溅射 炉体 电极 磁控溅射
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所获资助
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黄英
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:工程图学 图学教育 磁控溅射 工程图学课程 直流磁控溅射
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韩晶雪
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:抽速 MONTE_CARLO方法 MONTE_CARLO MATLAB 干式
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供职机构
所获资助
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张国庆
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 参数优化 辅助阳极 性能模拟 等离子体增强
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所获资助
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张以忱
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
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