2024年11月27日
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崔乐卿
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被引量:2
H指数:1
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清华大学
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国家重点基础研究发展计划
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合作作者
杨开明
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李鑫
清华大学机械工程学院精密仪器与...
余东东
清华大学机械工程学院精密仪器与...
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
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余东东
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 弹簧 工件台 直径尺寸 夹子
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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李鑫
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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穆海华
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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