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尹玉华
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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电子电信
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合作作者
郑红军
中国科学院半导体研究所
卜俊鹏
中国科学院半导体研究所
白玉柯
中国科学院半导体研究所
李丽娟
中国科学院半导体研究所
霍自强
中国科学院半导体研究所
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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卜俊鹏
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
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霍自强
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:衬底 反应管 厚膜 蓝宝石 石英
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李丽娟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:衬底 反应管 石英 工作温度 氧化镓
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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王军喜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 发光二极管 衬底 氮化物 多量子阱
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白玉柯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:化学腐蚀 均匀性 GAAS 晶片 磨片
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李晋闽
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 发光二极管 衬底 多量子阱 GAN
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孙虹
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:量子级联激光器 SI-GAAS单晶 热稳定性 电学补偿 镓
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朱蓉辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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