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卜俊峰
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
郑红军
中国科学院半导体研究所
朱蓉辉
中国科学院半导体研究所
惠峰
中国科学院半导体研究所
赵冀
中国科学院半导体研究所
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朱蓉辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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相关人物
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所获资助
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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相关人物
供职机构
所获资助
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赵冀
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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