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刘战峰

作品数:25 被引量:7H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

  • 25个电子电信
  • 24个自动化与计算...
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  • 17个理学
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  • 14个电气工程
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  • 10个金属学及工艺
  • 10个机械工程
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  • 5个建筑科学
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  • 3个环境科学与工...
  • 3个医药卫生
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  • 1个天文地球
  • 1个水利工程

主题

  • 25个刻蚀
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  • 21个电极
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  • 21个金属
  • 21个
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  • 18个淀积
  • 17个导体
  • 17个电阻
  • 17个应力
  • 15个介质
  • 13个单晶
  • 13个等离子体
  • 11个单片
  • 9个单片集成

机构

  • 25个中国科学院微...
  • 6个清华大学
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  • 4个中国科学院
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  • 1个中国科学院长...
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资助

  • 18个国家自然科学...
  • 12个国家高技术研...
  • 11个国家科技重大...
  • 10个国家重点基础...
  • 5个中国科学院战...
  • 4个北京市科技新...
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  • 2个Intern...
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传媒

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  • 12个半导体技术
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  • 5个仪表技术与传...
  • 4个红外技术
  • 4个材料导报
  • 4个2013‘全...

地区

  • 24个北京市
  • 1个山西省
25 条 记 录,以下是 1-10
殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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毛淑娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 功函数 金属硅化物 源区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 纳米片 叠层 纳米线
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李永亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文静
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 测温电阻 测试设备 反应器 肖特基结
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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