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高凡

作品数：4 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

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传媒

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地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
张峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾晓玲
供职机构：同济大学
研究主题：SOI 波导光开关 多模干涉耦合器 多模干涉 流道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永进
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹共柏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 波导 各向异性腐蚀 绝缘埋层 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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