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路敦武

作品数:48 被引量:123H指数:5
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程核科学技术自动化与计算机技术更多>>

领域

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机构

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资助

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地区

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  • 1个浙江省
31 条 记 录,以下是 1-10
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜龙龙
供职机构:湖州职业技术学院
研究主题:敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王润文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨良民
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘增水
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光强分布 ICF 性能分析 机械加工工艺 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩广礼
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:在线检测装置 分光镜 计算机组成 激光照明 平行光管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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