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江炳尧
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
柳襄怀
中国科学院上海微系统与信息技术...
任琮欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
冯涛
华东师范大学理工学院纳光电集成...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
邹世昌
中国科学院上海微系统与信息技术...
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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任琮欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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蒋军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 性能研究 碳纳米管 钼栅极 电子发射
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杨根庆
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
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周祖尧
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 硅 离子束 离子束增强沉积 P
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林梓鑫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
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赵俊
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 金刚石薄膜 二氧化硅 光致发光 非晶金刚石薄膜
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