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杨济硕

作品数：19 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 9个机械工程
  • 9个电子电信
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主题

  • 10个像差
  • 10个波像差
  • 9个主成分
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  • 8个物镜
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机构

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资助

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传媒

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  • 3个激光与光电子...
  • 3个中国激光
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  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报

地区

  • 10个上海市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐东波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兆泽
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：MEMS 微推进器 掩模 光源 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫冠勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 多元线性回归 焦深 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：铀 铀原子 高激发态 共振电离 激光蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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