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徐东波

作品数：22 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

  • 6个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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