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尹文生
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华中科技大学
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
张鸣
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
胡金春
清华大学机械工程学院精密仪器与...
杨开明
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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徐登峰
供职机构:清华大学
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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汪劲松
供职机构:清华大学
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穆海华
供职机构:清华大学
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供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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田丽
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 掩模 基台 气浮轴承
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刘召
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
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