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尹文生

作品数:321 被引量:657H指数:12
供职机构:华中科技大学更多>>
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地区

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163 条 记 录,以下是 1-10
朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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穆海华
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田丽
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 掩模 基台 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘召
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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