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郭育华
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中国科学技术大学
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田扬超
中国科学技术大学核科学技术学院...
王俊
中国科学技术大学核科学技术学院...
朱学林
中国科学技术大学核科学技术学院...
阚娅
中国科学技术大学核科学技术学院...
刘刚
中国科学技术大学核科学技术学院...
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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王俊
供职机构:中国社会科学院考古研究所
研究主题:光刻 脱模 有限元方法 城墙 PMMA
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朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
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阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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熊瑛
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:水体 大高宽比 光刻胶 微流控芯片 旋涂
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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