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谢克文
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11
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H指数:4
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
王晓红
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
姜英琪
清华大学信息科学技术学院微电子...
钟凌燕
清华大学信息科学技术学院微电子...
周俊
清华大学信息科学技术学院微电子...
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王晓红
供职机构:清华大学
研究主题:直接甲醇燃料电池 多孔硅 MEMS 微加工 微机械加工
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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姜英琪
供职机构:清华大学
研究主题:直接甲醇燃料电池 极板 PDMS 微型燃料电池 封装技术
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钟凌燕
供职机构:清华大学
研究主题:直接甲醇燃料电池 极板 封装技术 MEMS PDMS
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周俊
供职机构:清华大学
研究主题:多孔硅 牺牲层 挥发 铝元素 牺牲层技术
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陈兢
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:电容式 MEMS 微麦克风 微传声器 电容式微传声器
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