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朱效立

作品数：155 被引量：121H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冬梅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
辛将
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：能量守恒定律 衍射光学元件 大高宽比 方孔 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘慎业
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线 惯性约束聚变 条纹相机 激光等离子体 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻胶 掩模 旋涂 电子束直写 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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