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方晶晶
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中国科学院微电子研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
徐勤志
中国科学院微电子研究所
刘宏伟
中国科学院微电子研究所
马天宇
中国科学院微电子研究所
孙艳
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
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刘宏伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
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徐勤志
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 表面形貌
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马天宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
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孙艳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:网格 CMP 仿真方法 金属 冗余
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曹鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
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杨飞
供职机构:中国科学院微电子研究所
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阮文彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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