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张照云
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
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合作作者
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
彭勃
中国工程物理研究院电子工程研究...
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
高杨
重庆大学光电工程学院光电技术及...
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
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彭勃
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研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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许蔚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
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杨杰
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 石英 微开关 加速度计
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
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