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张慧慧
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
周静涛
中国科学院微电子研究所
申华军
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
刘焕明
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
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周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 钝化层 肖特基 太赫兹
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申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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刘焕明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:钝化层 SUB 硅基 离子注入工艺 肖特基二极管
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
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